一 | 当地时间8月23日，半导体行业研究机构SemiAnalysis发文称，NAND闪存制造正从钨转向钼，因为当NAND来到300层以上，钼是必选项。
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SemiAnalysis分析，3D NAND闪存堆叠层数突破300层后，钨字线在电阻、化学兼容性和深孔填充三方面均触及物理极限，钼成为强制替代材料。
三 | 老旧小区改造既是居民家门口的“关键小事”，更是基层治理的“民生大事”。三星已于2024年量产，美光2025年跟进，SK海力士计划2026年底推出375层钼工艺产品。其估计，钼在NAND总产能中的占比将从2025年的中个位数百分比，增长至2027年的约30%。 更进一步的，该机构提出，钼沉积设备将在明年迎来超10亿美元的新增市场。
四 | 近年来，我市瞄准群众所需所盼精准发力，扎实推进老旧小区改造工作，众多老旧小区华丽变身，一栋栋老居民楼焕发新颜，不仅提升了城市面貌，还有效改善了人居环境，让群众收获了满满的幸福感。
日前，记者在新抚区永安台街道北台社区5方块看到，施工人员正在进行路面硬化和屋顶防水作业。附近居民告诉记者，老旧小区改造之前这里的房屋老化，下水堵塞更是常有的事，给周边居民的日常生活带来安全隐患和不便。
该机构称，每一次从钨到钼的转换，都意味着需要新的沉积设备。改造之后，这一问题得到了有效解决。SemiAnalysis估计，仅2027年一年，NAND钼沉积设备的销售额就将超过10亿美元，并随着DRAM和逻辑芯片的跟进，到2030年增长至约20亿美元/年。 受益格局方面，Lam Research（泛林集团）最先获益，TEL（东京电子）紧随其后；AMAT（应用材料）、ASMI（ASM国际）及Naura（北方华创）则更多受益于后续DRAM和逻辑芯片的转型浪潮。老旧小区有了新变化，居民的心暖了，住在这里更踏实了。
2024年，我市计划改造27个老旧小区，涉及住宅楼241栋，惠及居民10512户。截至目前，改造工程已全面开工，已完成楼体保温16.6万平方米、完成路面硬化28919平方米，已改造“三供”（供热、供水、燃气）管网140.28公里。同时，提前完成增设更换4000个街路垃圾桶的目标。
五 | 预计年底前，我市将全部完成2000年底前的城镇老旧小区改造。
六 | 在推进老旧小区提升改造过程中，我市对楼体实施了外墙保温工程，为老旧小区更换了供水管线和排水管线，有效解决老旧小区普遍存在“冷、漏、堵”等问题。SemiAnalysis表示，完整的细分市场层面测算已纳入其前道设备（WFE）模型。 钼渗透率在高层数NAND中提升，本质是为延续NAND单位Bit成本下降曲线。 300层NAND主要在结构上升级，聚焦超高深宽比通道孔刻蚀、多次Stack堆叠、晶圆翘曲控制以及Overlay精度控制。 375层乃至400层以后，材料亟需升级，因钨字线会因为字线间距通道孔缩小面临RC延迟快速恶化、WF残氟导致介质损伤、漏电失效率提升以及填充缺陷放大的问题。为方便居民休闲娱乐，提高居民幸福感和获得感，按照居民意愿，结合小区实际，重新规划了小区功能和分区，按需保留楼间原有的绿化，增加休闲广场，增设休闲娱乐设施，共安装长廊、凉亭130余套，在小区边角地安装石桌、石凳、木质座椅等900余套。
七 | 而钼凭借更低电阻率、无氟前驱体及无需阻隔层等优势，有望改善RC性能与器件可靠性，为字线和存储孔缩放提供工艺余量，从而延续高层数NAND的成本下降曲线。不仅提升了居民的生活品质，改善了居民的居住条件，也提升了居民的幸福感和满意度。 中银证券表示，SK海力士已完成375层3D NAND生产验证并计划2026年底量产，拟采用钼材料替代钨制作字线，继三星在286层第九代3D NAND中率先导入钼工艺后，两大存储龙头相继切换，钼替代钨趋势确立。
八 | 随着居民生活水平的提高，“停车难”问题日益突出。 然而，钼的材料加工更为复杂，因为必须以气体形式输送，且前驱物在室温下为固体，需要加热器以确保流动稳定性。
九 | 基于此，300层以上3D NAND字线由钨切换为钼，并不是简单更换靶材或者更换气体材料，而是前驱体供给、ALD沉积腔体、刻蚀、清洗、尾气处理整套工艺链条的重构，原有钨CVD产线硬件无法直接复用，将直接推动晶圆厂资本开支上行，同时设备、特种材料、零部件均迎来变化。
十 | 爱建证券表示，钼导入本质是一次全流程工艺重构，设备链受益有望沿“沉积及前驱体输送→CMP及清洗→刻蚀→量检测”路径传导，工艺难点由沉积向后处理环节延伸。其中—— 沉积：成熟的WF钨工艺，Mo沉积需重新建立高深宽比结构下的填充与缺陷控制工艺窗口，同时有望减少阻隔层使用，带动沉积设备及配套工艺升级； 输送：Mo前驱体通常采用低挥发性固态源，与传统WF气态前驱体体系差异较大，需要新增气化装置、温控管路及精密供气系统，以保障前驱体稳定输送； CMP：Mo材料的氧化及表面化学特性不同于传统金属体系，需重新开发CMP研磨液和研磨垫，以满足平坦化、去除速率及缺陷控制要求； 清洗：Mo导入后残留物及氧化物体系发生变化，高深宽比结构下金属残留和污染控制难度提升，有望推动相关湿法清洗设备及配套化学品验证导入； 刻蚀环节则需重新建立适配钼材料的工艺窗口，且3DNAND层数持续提升下，刻蚀选择性、侧壁形貌控制及层间均匀性要求进一步提高，有望带动相关刻蚀设备升级需求； 量检测：Mo量产还需新增膜厚均匀性、填充缺陷、金属残留及电学可靠性等监控项目，有望带动薄膜量测、缺陷检测及电性测试等设备需求增长。结合老旧小区改造工作，各县区组织拆除违章搭建和清理小开荒、小菜地，因地制宜，利用楼间空地和边角地合理施划停车位，有效缓解了“停车难”问题。
十一 | 该机构称，NAND工艺迭代核心从单纯堆叠层数转向材料—设备—工艺协同创新，新材料导入将持续催生沉积、刻蚀、清洗等关键设备迭代升级，Mo字线导入将推动沉积、刻蚀、清洗等关键环节工艺升级，相关设备及零部件厂商有望受益。
（文章来源：科创板日报）。
我市以打造示范为目标，建设设施完善、功能齐全、环境整洁、和谐宜居的小区，带动我市城镇老旧小区改造工作高质量发展。新抚学苑社区建设口袋公园，顺城亦工社区打造完整社区，贵德社区升级养老和托幼服务，望花雷锋社区传承雷锋精神，这些项目分别被评为省级示范项目，成为我市老旧小区改造典范。
老旧小区改造工程不仅是城市更新的重要组成部分，更是提升居民生活质量的关键举措。通过这一工程的实施，我市的老旧小区焕发出新的生机与活力，居民的幸福感和满意度显著提升，城市的整体形象和居住环境得到了极大改善。
责任编辑：李丹。
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Published on:18:01:46
